等离子渗氮

等离子渗氮也称离子渗氮、辉光渗氮，是一种利用等离子技术对烧结材料、各类钢[1]、钛、铝等金属进行表面硬化的方法，属于渗氮工艺的一种[2]。以炉体为阳极，工件为阴极，加上几百伏直流电压，氮气和氢气的气体分子被离子化，产生辉光放电。正电荷对工件表面的轰击作用加速，将工件加热到氮化温度（350°C – 600°C）。氮离子在钢件表面得到电子，还原为氮原子，渗入钢件表面并向内扩散，产生Fe-N固溶体和氮化物扩散层，可显著提高不锈钢材料的耐磨和耐腐蚀性能[3]。此过程处理是通过扩散而不是涂层[4]，应用PVD和PECVD涂层混合技术，可更好的控制氮化层特性[5]。