光罩

光罩（英语：）：在制作集成电路的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型拷贝于晶圆上，必须通过光罩作用的原理[1]。比如冲洗照片时，利用底片将影像拷贝至相片上。

一片光罩的展示品

结构
  • 实体结构：布满集成电路图像的铬金属薄膜的石英玻璃片上的图像。
  • 倍缩光罩（Reticle）：在投影式光刻机中，掩模作为一个光学组件位于会聚透镜（condenser lens）与投影透镜（projection lens）之间，它并不和晶圆有直接接触。掩模上的图形缩小4~10倍（现代光刻机一般都是缩小4倍）后透射在晶圆表面。为了区别接触式曝光中使用的掩模，投影式曝光中使用的掩模又被称为倍缩式掩模（reticle）。
  • 光罩（Mask）：当铬膜玻璃上的图像能覆盖整个晶圆时称之为光罩。

种类

相位移光罩、二元光罩

参考文献
  1. . [2010-03-19]. （原始内容存档于2010-10-03）.
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